半导体洁净不锈钢管 全应用领域

一、晶圆制造核心制程（主力用量）

1. 高纯工艺气体输送
   输送氮气、氩气、氧气、氢气、氦气等大宗高纯气体，用于刻蚀、沉积、扩散、离子注入全流程，全程无颗粒、无金属析出，保障晶圆制程稳定性。
2. 电子特种气体管路
   硅烷、氨气、氯化氢、氟化氢、磷化氢等易燃易爆、腐蚀性特气，采用EP 级超高洁净管，防爆耐腐、零泄漏，杜绝气体纯度下降影响芯片良率。
3. 超纯水 UPW 输送
   晶圆清洗、光刻胶冲洗、芯片制程纯水供给，内壁极低析出，严控离子、微生物、颗粒物，满足 12 英寸高端晶圆生产纯水等级要求。
4. 湿制程化学品管路
   输送显影液、蚀刻液、清洗药液、酸碱高纯试剂，耐强酸碱腐蚀，内壁光滑无挂液，无介质残留交叉污染。

二、光伏新能源产业

1. 光伏硅片清洗、扩散炉气体管道
2. 电池片镀膜、PECVD 设备工艺气路
3. 光伏制氢、高纯氢气输送洁净管路
   适配光伏大规模量产高洁净、高流量、耐温工况。

三、显示面板行业

1. LCD/OLED 液晶面板
   面板镀膜、蒸镀、刻蚀、背光模组高纯气体管路
2. 面板无尘车间工艺冷却水、洁净压缩空气管路
3. 玻璃基板超纯水清洗输送管道
   低颗粒、高洁净度满足面板高画质生产标准。

四、集成电路 & 芯片封装测试

1. 芯片封装腔体保护气体管路
2. 固晶、焊线、塑封无尘洁净气路
3. 芯片测试设备高纯载气、冷却管路
   小管径精密洁净管为主，适配精密小型设备。

五、锂电储能 & 新能源电池

1. 锂电池正极材料烧结工艺气体管道
2. 电解液高纯输送、无尘配料管路
3. 电池极片无尘清洗超纯水管道
   耐腐蚀、无油脂析出，适配锂电无尘生产环境。

六、光电 & 光学产业

1. 激光设备高纯保护气、光路冷却管路
2. 光学镜片真空镀膜、真空腔体管路
3. 红外、半导体激光器洁净气路系统

七、生物医药高端洁净领域

1. 生物实验室超高纯载气、分析仪器气路
2. 基因测序、细胞培养无菌高纯气体管路
3. 高端制药无菌工艺流体输送（高等级替代食品级管道）

八、真空设备与高端实验室

1. 半导体真空腔体连接管道、高真空导流管
2. 科研院所精密理化实验室高纯气体管路
3. 检测仪器、色谱分析仪标准气输送管路

九、航空航天 & 高端电子

1. 航天电子元器件无尘制程气路
2. 军工半导体芯片耐高温洁净管路
3. 精密电子元件无尘生产洁净流体管道

十、行业等级精准选型

• EP 电解抛光管：晶圆核心制程、特气、超纯水、高端面板（最高洁净）
• BA 光亮退火管：辅助气体、冷却水路、普通洁净气路（通用半导体配套）
• 超细精密洁净管：检测设备、小型芯片设备、实验室仪器